一種多晶硅切片回收液脫水機(jī)組，具有干燥塔和列管式換熱器，所述干燥塔與真空抽吸裝置連接；所述干燥塔內(nèi)設(shè)有噴霧器，噴霧器具有中空基體和噴霧頭，噴霧頭包括由內(nèi)向外設(shè)置且同圓心的圓盤(pán)噴霧頭、內(nèi)圈噴霧頭和外圈噴霧頭，圓盤(pán)噴霧頭與內(nèi)圈噴霧頭之間、內(nèi)圈噴霧頭與外圈噴霧頭之間各由３～４條支撐筋連接，中空基體與圓盤(pán)噴霧頭之間由中間直管連接，中空基體與內(nèi)圈噴霧頭之間通過(guò)３～４根均勻布置的內(nèi)圈彎管連接，中空基體與外圈噴霧頭之間通過(guò)３～４根均勻布置的外圈彎管連接，所述中空基體通過(guò)其頂部的液管與進(jìn)料管連接。本實(shí)用新型采取將多晶硅切片回收液在列管式換熱器與干燥塔之間循環(huán)，在真空環(huán)境中實(shí)現(xiàn)霧化干燥，脫水效果明顯。